| Описание мероприятия: | Впервые Балтийская конференция по атомно-слоевому осаждению проводится в Санкт-Петербурге, где профессор В.Б. Алесковский с коллегами и помощниками создал основы этой технологии 1950, широко известной сегодня под названием Atomic Layer Deposition (ALD). В конференции примут участие приглашенные зарубежные специалисты с докладами, отражающими последние достижения в развитии технологии и оборудования. Представители российских научных центров продемонстрируют свой вклад в применение ALD технологии для решения научных и производственных задач. Конференция охватывает следующие тематические направления: Металлы, нитриды, карбиды. Приложения в микроэлектронике. Механизмы реакций. Разработка процессов. Приложения в энергетике. Микро- и наносистемы, физика и технология. Измерения. Гибридные материалы.
Приложения: BALD2016 |